本の紹介
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透明導電膜の技術 日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料 第166委員会 編 A5判 306頁 1999/04 |
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▲最新の研究成果をもとに詳しく解説▲ 本書は、エレクトロニクス産業における基盤である機能性材料の一つとして注目を浴びている透明導電膜について、最新の研究成果をもとにまとめる技術者向けの実務書である。 透明導電膜の開発の歴史にはじまり、材料やその基礎的性質、製造法、加工法から評価法にいたるまでを、実務に即した内容で解説している。また、巻末には透明導電膜の関連材料および装置についての業務資料を付録として掲載している。 −電子機能材料関連の技術者，研究者の方におすすめです− |
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1章 プロローグ―地球環境，エネルギー，情報化社会― 1.1 地球環境問題 1.2 エネルギー問題と太陽電池 1.3 技術情報化社会とディスプレイ技術 2章 透明導電膜は何に使われるか 2.1 透明導電膜とは（開発の歴史） 2.2 液晶ディスプレイ 2.3 プラズマディスプレイ 2.4 その他のディスプレイ 2.5 太陽電池 2.6 機能性ガラス 2.7 導電性フィルム 2.8 その他の技術 3章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か 3.1 透明導電膜材料の基礎物性 3.2 欠陥と電子状態 3.3 電気的性質 3.4 光学的性質 |
4章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか 4.1 透明導電膜材料の特質 4.2 酸化インジウム 4.3 酸化亜鉛 4.4 酸化スズ 4.5 その他 5章 透明導電膜はどのようにして作るか 5.1 スパッタ法 5.2 スパッタ用ターゲット材料 5.3 CVD法 5.4 蒸着法とイオンプレーティング法 5.5 その他の方法（ディップ法，スプレー法，レーザアブレーション法など） 6章 透明導電膜をいかに微細加工するか 6.1 ウェットエッチング法 6.2 ドライエッチング法 7章 透明導電膜をどのように評価するか 7.1 電気抵抗率 7.2 光透過率 7.3 機械的強度 付録：業務資料 |