【日時】 2023 年1 月20 日（金）
研究会 13:00～17:30
懇親会 18:00～20:00
【場所】 〔研究会〕東京大学 工学部5 号館51 号講義室 https://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_04_06_j.html
およびオンライン（ZOOM）
〔懇親会〕カポ ・ペリカーノ（東京大学
医学部教育研究棟13 階） http://www.capo-p.com/access.html
【プログラム】
1. 13:00～13:05 開会挨拶 委員長 神谷 利夫
2. 13:05～13:55 「最新ディスプレイ動向」 小野
記久雄（サークル・クロス・コーポレーション）
3. 13:55～14:45 「多結晶酸化物半導体（Poly-OS）」 霍間
勇輝（出光興産株式会社 次世代技術研究所）
14:45～15:00 Coffee Break
4. 15:00～15:50 「HiPIMS について」 清水 徹英（東京都立大学
システムデザイン学部）
5. 15:50～16:40 「原子層プロセス（ALD・ALE）の基礎と応用・理想と現実」
霜垣 幸浩（東京大学 大学院工学系研究科）